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분석기술

시료 전처리

Ion Milling

Ion Milling 은 시료의 단면이나 평면을 가공하여 거친 표면을 선명하게 만들어 좀 더 정확한 분석이 가능하게 할 수 있는 시료 전처리 기법입니다.
Ar Gas 를 사용한 Ion Beam 을 시료 단면에 주사하여 표면을 식각 하여, 단면분석 시편제작 과정 중 Grinding 과 Polishing 에서 발생된 스크래치 등의 다양한 연마 흔적들을 제거하고
깨끗하게 만들어 줌으로 인해 불량 및 구조에 대한 정확한 분석을 가능하게 해 주는 장비입니다.

분석 기술

Cross Section Analysis, Delamination Analysis, CP

장비

  • Ion Milling
    제작사 및 모델명
    JEOL IB-09010CP
    장비 사양
    Ion-beam diameter : 500μm or more
    Milling speed : 100μm/h
    Maximum specimen size : 11mm X 10mm X 2mm (WLT)

기술사례

  • Delamination
  • Junction profile of SiC
  • Junction profile of SiC
  • IR filter

기술 및 서비스 문의

  • 분석기술팀 김철수 팀장
    Tel. 031-283-9677
    E-mail. chulsoo.kim@knal.co.kr