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분석기술

전기적 분석

EMMI

EMMI (Emission Microscope) 는 시료에 전기적 신호를 인가하여 발생되는 열을 검출함으로 인해 불량이 발생된 위치를 검출할 수 있는 장비입니다.
IV Curve 측정 불량모드 중 Short 혹은 Leakage 성 불량모드가 확인된 시료에 대해서는 정확한 파괴분석을 하기위해 필요한 분석 항목입니다.
특히, 시스템의 Lock-In 기능을 활용하여 Noise를 최소화하고 Hot Spot을 증폭시켜 좀 더 정확한 Real Spot 을 검출해 낼 수 있습니다.

분석 기술

Metal Short or Leakage, ESD or EOS Fail, Junction Leakage, Oxide Broken, Migration

장비

  • EMMI
    제작사 및 모델명
    QFI | InfraScope M1
    장비 설명
    Lens Magnification : X1/6, X2, X15, X20
    Thermal Lock-in System
    Max voltage : 210V
    Max current : 0.105A

기술사례

  • transistor
  • memory control IC
  • Saw Filter
  • FPCB

기술 및 서비스 문의

  • 분석기술팀 김철수 팀장
    Tel. 031-283-9677
    E-mail. chulsoo.kim@knal.co.kr